ДРУГА ИНФОРМАЦИЯ

Система за избор на продукти и консултации medias

Ролкови направляващи системиKUVE (сачмени направляващи системи)
 
КОНТАКТ
Приложения

Литография

Високопрецизни линейни направляващи за координатни маси

За да се поставят структури върху чиповете, те се покриват с изключително светлочувствителен фотолак. Фотолакът се осветява през трафарет и се разгражда там, където се появява светлина.

При производството на полупроводници от следващо поколение се целят структурни размери от 60 nm, за да се постигне висока плътност на паметта и скорост на включване.

Координатни маси със задвижване чрез линейни двигатели осигуряват движението на подложката и проекционния трафарет. Основите на машината образуват стабилна, демпферираща вибрациите гранитна конструкция и високопрецизна направляваща, напр.  ролкова ротационна система RUE на INA. Тази изключително безшумна направляваща се отличава с равномерно съпротивление на хода и преместването - за висока повтаряемост и точност при позиционирането.