
Планарните задвижвания са най-добре пригодени за позициониране от точка до точка с прецизни изисквания в µm-диапазона. Едно планарното задвижване може да бъде монтирано и вертикално а също и с главата на долу. Системата е производителна, ако на един статор работят не един, а няколко ротора, които реализират голям брой от допълнителни оси в работното пространство.
Планарният електродвигател може да бъде управляван или регулиран в микростъпковия диапазон. Оборудван с три магнитни измервателни глави той се регулира като електронно комутиран двигател за постоянен ток в три координати.
|
Предимства
|
Области на приложение